ALD20 提供了客戶對Swagelok超高純原子層沉積 (ALD) 閥所期望的可靠性和性能，同時還帶來了先前無法實(shí)現(xiàn)的溫度穩(wěn)定性和流量可能性。這款閥門使制造商能夠試驗(yàn)不同的工藝和低蒸汽壓化學(xué)品，以實(shí)現(xiàn)當(dāng)今和未來開發(fā)先進(jìn)技術(shù)所需的均勻氣體沉積。
新型 ALD20 UHP 閥專為突破原子層沉積閥技術(shù)的極限而設(shè)計(jì)，從而使流量達(dá)到使用現(xiàn)有 ALD 閥所能達(dá)到的兩到三倍。該閥門使半導(dǎo)體芯片制造商不僅具有增加產(chǎn)量和提高效率的潛力，而且還可以在不顯著改變工藝的情況下做到這一點(diǎn)。
ALD20 的設(shè)計(jì)能夠在超高循環(huán)壽命中促進(jìn)一致的運(yùn)轉(zhuǎn)得益于以下幾項(xiàng)主要特點(diǎn)：
| 工作壓力 | 真空至 20 psig (1.4 bar) |
| 爆破壓力 | >3200 psig (220 bar) |
| 驅(qū)動壓力 | 70 to 90 psig (4.8 to 6.2 bar) |
| 溫度 | 50° 至 392°F（10° 至 200°C） |
| 流量系數(shù) (Cv) | 1.2 (MSM) 或 1.7 （直通型） |
| 閥體材料 | 316L VIM-VAR 或合金 22 |
| 波紋管材料 | 合金 22（5 μin.Ra 表面粗糙度） |
| 端接 | |
| 類型（尺寸） |
內(nèi)螺紋 VCR® 接頭 (1/2 in.) 可旋轉(zhuǎn)外螺紋 VCR 接頭 (1/2 in.) 卡套管對焊，長 0.50 in. (1/2 in. x 0.049 in.) 模塊化表面安裝高流量 C 型密封 (1.5 in.) |
有關(guān) ALD20 UHP 閥如何在不犧牲一致性或可重復(fù)性的前提下幫助提高半導(dǎo)體芯片制造應(yīng)用中的精度和性能的更多信息，請與您當(dāng)?shù)氐?span>Swagelok
銷售與服務(wù)中心聯(lián)系.| 安心的產(chǎn)品選擇：必須查看全部產(chǎn)品目錄內(nèi)容以保證系統(tǒng)設(shè)計(jì)者和用戶進(jìn)行安全的產(chǎn)品選擇。選擇產(chǎn)品時，必須考慮總體系統(tǒng)設(shè)計(jì)以保證獲得安全無故障的性能。產(chǎn)品的功能、材料兼容性、充分的額定值、正確的安裝、操作和維護(hù)均是系統(tǒng)設(shè)計(jì)者和用戶的責(zé)任。 注意：切勿將Swagelok的雙卡套管接頭端接組件（或不符合工業(yè)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)的其他產(chǎn)品）與其他制造商的組件混用/互換。 |