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JEL GTCR5280-300-AM
5軸水平多關節(jié)型潔凈機械手臂
——適用于300mm半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運

5軸水平多關節(jié)型潔凈機械手臂GTCR5280-300-AM特點：
可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列
單臂雙手指結構能夠實現(xiàn)和雙臂結構同樣的功能
適用于300mm半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運
機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm
機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長）
或者3個FOUP（280mm臂長）
雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機
通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化
能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供最優(yōu)的手指

5軸水平多關節(jié)型潔凈機械手臂GTCR5280-300-AM基本參數：
使用環(huán)境 潔凈間內的大氣環(huán)境
手臂 單臂
到達距離 553mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程 300mm / 400mm / 500mm
可搬運質量 4kg (手臂第3關節(jié)處基準)