| Laurell勻膠機WS-650Mz-8NPPB |
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價格:\u9762\u8bae 元(人民幣) | 產(chǎn)地:湖北武漢 |
| 最少起訂量:1 | 發(fā)貨地:湖北武漢 | |
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武漢邁可諾科技有限公司
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勻膠機(英文名:Spin?Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜? 詳細介紹:勻膠機(英文名:Spin?Coater&?Spin?Processor)? 行業(yè)俗稱:勻膠臺、勻膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、涂層機
一、產(chǎn)品概述: ????650型勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列勻膠機具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以 半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是650型勻膠機的特點。 二、勻膠機工作原理: ????勻膠機(spin?coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。 三、勻膠機主要性能指標(biāo): 1、腔體尺寸:12.5英寸?(381?毫米); 2、Wafer芯片尺寸:10-200mm直徑的材料,方片178x178mm,小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤); 3、轉(zhuǎn)動速度:0-12,000rpm,? 4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空載); 5、馬達旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差?<?±1; 6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度 lt;0.2rpm,重復(fù)性<?0.2rpm; 7、工藝時間設(shè)定:1-5999.9?sec/step?0.1?精度; 8、勻膠機材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方; 9 數(shù)碼控制器:PLC控制,設(shè)置點精度小于0.006。 10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài); 11、分辨率:分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,美 準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證過的,并且無需再校準(zhǔn)!] 12、配套真空泵系統(tǒng):無油型?220~240伏交流,50/60赫茲; 13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件; 14 水平測試儀;?? 15、兩袋密封圈;?? 16、廢液接收單元;
可選配置: IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計,帶遠程控制; OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計,帶遠程控制; UD自動滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒, EBR(Edge?Bead?Remover):晶圓去邊,機械裝置; |
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