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紫外光刻機
URE-2000/35型紫外光刻機
主要技術(shù)指標：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）
對準精度：±0.8μm
最大膠厚：300μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
照明均勻性：±4（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：350W（直流）
掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技術(shù)特點：
創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。