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4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂STCR4160S特點(diǎn)：
超潔凈無(wú)塵間用4軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂STCR4000S系列
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)，雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：100mm, 130mm, 160mm, 200mm
雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)
S曲線(xiàn)加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類(lèi)，設(shè)備布局等要求提供最優(yōu)的手指

4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂STCR4160S基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂 雙臂
到達(dá)距離 315mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸最大行程 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
可搬運(yùn)質(zhì)量 3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))