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jel機械臂\/4軸圓柱坐標潔凈機械手SCR3100S小徑晶圓用

$jel機械臂\/4軸圓柱坐標潔凈機械手SCR3100S小徑晶圓用$	價格：\u9762\u8bae 元(人民幣)	產地：上海上海
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：上海上海
	上架時間：2024-01-22 17:46:04	瀏覽量：49
	上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
	經營模式：貿易公司	公司類型：私營股份有限公司
	所屬行業(yè)：綜合	主要客戶：華東地區(qū)
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳靜靜 (小姐)	手機:15026865822
電話:	傳真:
郵箱:lee.li@hapoin.com	地址:上海市徐匯區(qū)田州路159號蓮花大廈3樓B座

詳細介紹

產品參數(shù)
jel機械臂/4軸圓柱坐標潔凈機械手SCR3100S 小徑晶圓用品牌	JEL
品名	機械臂
軸數(shù)	4軸
英文名	jel robot
產地	中國
控制通訊方式	RS232C及并口I/O方式
晶圓固定方式	真空吸附式，下托式，邊緣夾持式
手指材質	CFRP(碳纖維)
鋁合金
使用環(huán)境	潔凈間內的大氣環(huán)境
手臂	單臂
到達距離	195mm
升降軸最大行程	200mm / 300mm
可搬運質量	0.5kg
可售賣地	北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
類型	圓柱坐標型
型號	SCR3100S

jel機械臂/小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手SCR3100S特點：
適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標潔凈機械手臂SCR3100S系列
適用于半導體生產設備內部，檢測設備等小尺寸晶圓的搬運，通過優(yōu)化機械手臂的空間尺寸，
有利于實現(xiàn)設備的小型化
提高潔凈度的方法：手臂內部排氣口安裝0.1μm級過濾器
適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供最優(yōu)的手指

SCR3100S小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境潔凈間內的大氣環(huán)境
手臂單臂
到達距離 195mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程 200mm / 300mm
可搬運質量 0.5kg (手臂第3關節(jié)處基準)

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