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晶圓機(jī)械手臂JEL3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手SCR3160CS

	價(jià)格：\u9762\u8bae 元(人民幣)	產(chǎn)地：上海上海
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：上海上海
	上架時(shí)間：2024-01-22 17:46:11	瀏覽量：38
	上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
	經(jīng)營(yíng)模式：貿(mào)易公司	公司類型：私營(yíng)股份有限公司
	所屬行業(yè)：綜合	主要客戶：華東地區(qū)
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳靜靜 (小姐)	手機(jī):15026865822
電話:	傳真:
郵箱:lee.li@hapoin.com	地址:上海市徐匯區(qū)田州路159號(hào)蓮花大廈3樓B座

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品名	晶圓機(jī)械手臂
軸數(shù)	3軸
英文名	wafer transfer robot
產(chǎn)地	中國(guó)
加工定制	否
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)		100mm
130mm
160mm
200mm
晶圓固定方式	真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
使用環(huán)境	潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂	單臂
到達(dá)距離	340mm
升降軸最大行程	200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
可搬運(yùn)質(zhì)量	3kg
控制通訊方式	RS232C及并口I/O方式
可售賣地	北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
類型	圓柱坐標(biāo)型
型號(hào)	SCR3160CS

晶圓機(jī)械手臂 JEL 3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手SCR3160CS特點(diǎn)：
超潔凈無(wú)塵間用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂SCR3000CS系列
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 100mm, 130mm, 160mm, 200mm
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)玻璃基板
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供最優(yōu)的手指

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂SCR3160CS基本參數(shù)：
使用環(huán)境潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂單臂
到達(dá)距離 340mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸最大行程 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
可搬運(yùn)質(zhì)量 3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))

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