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jel機械臂/小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手SCR3100S特點：
適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手臂SCR3100S系列
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運，通過優(yōu)化機械手臂的空間尺寸，
有利于實現(xiàn)設(shè)備的小型化
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝0.1μm級過濾器
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對搬運物體，客戶設(shè)備布局的實際情況提供最優(yōu)的手指


SCR3100S小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂 單臂
到達距離 195mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程 200mm / 300mm
可搬運質(zhì)量 0.5kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準)