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JEL真空機械手3軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂SVCR3260

	價格：\u9762\u8bae 元(人民幣)	產(chǎn)地：上海上海
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：上海上海
	上架時間：2024-04-29 10:30:33	瀏覽量：46
	上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
	經(jīng)營模式：貿(mào)易公司	公司類型：私營股份有限公司
	所屬行業(yè)：綜合	主要客戶：華東地區(qū)
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳靜靜 (小姐)	手機:15026865822
電話:	傳真:
郵箱:lee.li@hapoin.com	地址:上海市徐匯區(qū)田州路159號蓮花大廈3樓B座

詳細介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌	JEL
工作范圍	晶圓搬運
是否進口	是
機械手臂標準臂長	160mm
190mm
260mm

通訊方式	RS232C及并口I/O方式
手指材質(zhì)	CFRP(碳纖維)
鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
晶圓固定方式	下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
手臂數(shù)	單臂
到達距離	520mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程	20mm / 40mm
可搬運質(zhì)量	2kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準)
使用環(huán)境	真空部：溫度 15℃～50℃
數(shù)量	1
產(chǎn)地	日本
可售賣地	全國
用途	適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運
型號	SVCR3260

真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3000系。適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運
相比SVHR系列機械手臂，可搬運質(zhì)量提升2倍，具有較好的性價比優(yōu)勢
另外還保持了和SVHR系列機械手臂的兼容性，方便客戶對設(shè)備進行升級改造
機械手臂標準臂長:160mm, 190mm, 260mm, 330mm

手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5μm級過濾器
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
可以選配2相步進電機規(guī)格
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
可以針對搬運物體，客戶設(shè)備布局的實際情況提供最優(yōu)的手指

SVCR3260真空3軸圓柱坐標型機械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境
真空部：溫度 15℃～50℃
驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部：潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
溫度 15℃～40℃
手臂單臂
到達距離：520mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程 20mm / 40mm
可搬運質(zhì)量 2kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準)

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