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研磨機——OKAMOTO岡本GNX300B全自動晶圓減薄機特點：
GNX300B擁有BG研磨專利技術(shù)。
日本機械學(xué)會授予岡本標準傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎
主軸機械精度可調(diào)
岡本自產(chǎn)鑄金一體化結(jié)構(gòu)，不易老化，精度持久
潤滑系統(tǒng)有完善防護，避免異物進入造成磨損
適用晶圓尺寸：6”、8”、12” 最大晶圓厚度： 1000μm
可切換全自動、半自動操作模式
17 寸觸控操作與監(jiān)控屏，監(jiān)控氣壓、電流、水流、厚度等
研磨耗材損耗小，加工成本低廉
研磨硅屑細小，沖洗更干凈



GNX300B晶圓研磨機規(guī)格：
規(guī)格 GNX300B
最大加工直徑 Ф300mm
主軸轉(zhuǎn)速范圍 0~3000rpm
主軸驅(qū)動電機功率 5.5/4 Kw/P
主軸進給速度范圍 1~999μm/min
主軸數(shù) 2
工作盤轉(zhuǎn)速范圍 1~300rpm
研磨輪尺寸 Ф300mm
設(shè)備整重 5700kg