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Gatan SmartEMIC 電子束感應(yīng)電流測量系統(tǒng)簡介

產(chǎn)品功能介紹

? ? ? ??EBIC分析系統(tǒng)，可以實時軟件控制全自動采集電子束感生電流（EBIC）信號，獲得EBIC圖像信息，還可以獲得IV曲線信息，最終可以測試PN結(jié)位置，寬度，少子擴散長度，材料或器件的失效點定位，廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域。

? ? ? ??品牌介紹

? ? ? ??美國GATAN公司成立于1964年并于70年代末進(jìn)入中國市場。GATAN公司以其產(chǎn)品的高性能及技術(shù)的性在電鏡界享有極高聲譽。

? ? ? ??作的設(shè)計和制造用于增強和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商，其產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。產(chǎn)品應(yīng)用范圍包括材料科學(xué)、生命科學(xué)、地球物理學(xué)、電子學(xué)，能源科學(xué)等領(lǐng)域，?客戶范圍涵蓋的科研院所，高校，各類檢測機構(gòu)及大型工業(yè)企業(yè)實驗室，并且在科學(xué)研究領(lǐng)域得到了廣泛認(rèn)同。

? ? ? ??經(jīng)銷商介紹

? ? ? ??歐波同有限公司的微納米技術(shù)服務(wù)供應(yīng)商，是一家以外資企業(yè)作為投資背景的，總部位于香港，分別在北京、上海、遼寧、山東等地設(shè)有分公司和辦事處。作為蔡司電子顯微鏡、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設(shè)備及附屬分析設(shè)備在中國地區(qū)重要的戰(zhàn)略合作伙伴，公司秉承“打造國內(nèi)影響力的儀器銷售品牌”的經(jīng)營理念，與蔡司，GATAN品牌強強聯(lián)合，正在為數(shù)以萬計的中國用戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品與技術(shù)服務(wù)。

? ? ? ??Gatan SmartEMIC 電子束感應(yīng)電流測量系統(tǒng)特點：

? ? ? ??高性能、地噪聲EBIC系統(tǒng)，進(jìn)行定量EBIC測量。界面友好的智能分析軟件運行于DigitalMicrograph軟件平臺。

? ? ? ??用于SEM的SmartEBIC?系統(tǒng)包括：

? ? ? ???計算機控制的、充電電池供電的EBIC放大器

? ? ? ???高級EBIC樣品座(ASH)，并配有可調(diào)節(jié)的鎢探針以進(jìn)行臺式接觸。配以適當(dāng)?shù)腉atan適配器還可以通過空氣鎖來裝載試樣*

? ? ? ????與SEM樣品臺接口

? ? ? ???鏈接插座及4個BNC型的電纜鏈接，低噪聲這空饋通，適于EBIC和電子束流的測量

? ? ? ???具有Fireware技術(shù)的DigiScan?II數(shù)字電子束控制系統(tǒng)。它包括兩個模擬輸入，可同時采集攝影質(zhì)量的圖像，并可靈活控制像素強度、每點駐留時間、掃描旋轉(zhuǎn)等。對于某些SEM，它還可以通過軟件通訊SEM的操作參數(shù)。

? ? ? ???配有的SmartEBIC應(yīng)用插件的Digital?Micrography軟件，以進(jìn)行定量測量、線性輪廓的實時和后處理分析

? ? ? ??產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：

? ? ? ??SmartEBIC可以對EBIC信號進(jìn)行自動控制采集和定量分析:

? ? ? ??掃描控制系統(tǒng):

??1、1-,?2-?or?4-比特數(shù)據(jù)采集提供了超大的動態(tài)范圍

??2、從?16?x?1?至?8000?x?8000?像素掃描分辨率

??3、電子束停留時間，在0.5毫秒/像素到300毫秒/像素之間可調(diào)

? 4、自動調(diào)節(jié)圖像顯示大小，使得EBIC實驗過程變得更方便

*5、配置Digi-Scan控制器，實時軟件控制全自動采集，可以在EBIC信號的采集時就對信號進(jìn)行定量分析，無需附加的后處理，

*6、不僅獲得EBIC圖像信息，還可以獲得IV曲線信息。

? ? ? ??噪音控制:

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??1.?特別設(shè)計的EBIC附屬樣品臺

??2.?同軸繞線方式

??3.?可重復(fù)使用的鉛酸電池?(15小時續(xù)航時間)

??4.?可以改變放大器的增益，從而化數(shù)據(jù)采集的信噪比和帶寬

??5.?兩種可選的一階RC濾波器?，低通或高通濾波

??6.?低漂移放大模式

??7.?在與PC通訊的時間以外，系統(tǒng)的微處理器會自動切換到睡眠狀態(tài)

??8.?豐富的圖像處理工具。包含銳化工具、平滑工具和傅立葉變換工具等。??

??9.?可以適配與Lock-in技術(shù)（本系統(tǒng)并不提供，這樣的配置系統(tǒng)將不會對EBIC信號定量分析）

? ? ? ??追蹤:

? ? ? ??通過軟件實現(xiàn)。在12bit（1.22mV）采集分辨率模時為 /-5V。

? ? ? ??自動化:

? ? ? ??即使在放大器參數(shù)設(shè)定欠佳的條件下，系統(tǒng)也能自動優(yōu)化圖像的顯示大小，從而提供更方便的圖像瀏覽

? ? ? ??可以對放大器的偏移/增益進(jìn)行自動設(shè)置

? ? ? ??軟件:

? ? ? ??流程式一維擴散長度測量

? ? ? ??廣泛的面掃/線掃描分析工具，包括數(shù)學(xué)分析工具，濾波應(yīng)用等

? ? ? ??廣泛的圖像顯示方案選項，包括二次電子圖像與EBIC圖像的疊加

? ? ? ??編程語言可助您為自己的實驗編寫定制化軟件

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? ? ? ??產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域：

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? ? ? ??測試PN結(jié)位置，寬度，少子擴散長度金屬材料

? ? ? ??材料或器件的失效點定位

? ? ? ??測試半導(dǎo)體材料的位錯密度

? ? ? ??IV特性測試

? ? ? ??應(yīng)用實例：

? ? ? ??應(yīng)用一：測試PN結(jié)位置，寬度，少子擴散長度

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? ? ? ??應(yīng)用二：材料或器件的失效點定位

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