| 產(chǎn)品參數(shù) | | | 品牌 | Diener | | 是否支持加工定制 | 否 | | 腔室容積 | 1.7 - 2.6 升可選 | | 供電電源 | 220 V | | 氣體供給 | 針型閥、質(zhì)量流量控制器 (MFC) | | 產(chǎn)品支架 | 鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃 | | 控制系統(tǒng) | 手動、Basic PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE) | | 壓力測量 | Pirani | | 計時器 | 數(shù)字 、模擬 | | 電極 | 單層或多層 | | 可售賣地 | 全國 | | 技術(shù)數(shù)據(jù)
2.6 升的 Low Cost 等離子體實驗室設備 ZEPTO 配有手動型 和 Basic PC 控制系統(tǒng)，主要用于以下領域:
小批量生產(chǎn), 分析 (REM, TEM), 醫(yī)療技術(shù), 滅菌, 研究和開發(fā)部門, 考古, 紡織技術(shù), 塑料技術(shù)
1.基本裝備：
根據(jù)組件/選裝件，外殼規(guī)格會有所不同
腔室容積：根據(jù)具體版本 1.7 - 2.6 升
供電電源：230 V
2.氣體供給：針型閥、質(zhì)量流量控制器 (MFC)
3.真空腔室
帶蓋圓形硼硅玻璃 (UHP)（大約 ? 105 mm，長 200 mm 或長 300 mm）
W6（約 ? 160 mm，長 180mm）
4.裝載件
產(chǎn)品支架：鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃
5.電極：
單層或多層
真空腔室外部的一對電極
6.控制系統(tǒng)：手動、Basic PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)
7.壓力測量：Pirani
8.計時器：數(shù)字 、模擬
9.發(fā)生器：
頻率：
40 kHz：功率 0 - 100 W
13.56 MHz：功率 0 - 200 W
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