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超高真空光柵
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TONiC UHV
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TONiC UHV圓光柵讀數(shù)頭與雷尼紹帶有IN-TRAC?光學(xué)零位的精密圓光柵兼容，包括RESM和REXM超高精度圓光柵
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這些光柵系統(tǒng)在超高真空條件下提供保真度非常高的位置反饋
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概述
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TONiC UHV圓光柵讀數(shù)頭與雷尼紹帶有IN-TRAC?光學(xué)零位的精密圓光柵兼容，包括RESM和REXM超高精度圓光柵。這些光柵系統(tǒng)在超高真空條件下提供保真度非常高的位置反饋。TONiC UHV圓光柵在2010年第二季度上市，用于高性能和可靠性要求極高的半導(dǎo)體和科學(xué)應(yīng)用。
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高性能TONiC增量式讀數(shù)頭
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所有TONiC讀數(shù)頭均使用最新一代雷尼紹光學(xué)濾波系統(tǒng)，經(jīng)過優(yōu)化，噪聲超低。包括自動增益控制 (AGC) 和自動偏移量控制 (AOC) 在內(nèi)的動態(tài)信號調(diào)整進一步增強了先進的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計。因此，輸出信號具有無與倫比的信號純度，細分誤差 (SDE) 為±30 nm，噪聲（抖動）達0.51 nm RMS，分辨率達0.00075角秒。
所有TONiC柵尺均包括直接嵌入到增益通道中的獨特IN-TRAC光學(xué)零位，只需單擊按鈕即可以方便地實現(xiàn)自動電子調(diào)相 — 因此，這一功能也可遠程執(zhí)行。IN-TRAC光學(xué)零位還具有在所有速度和整個工作溫度范圍內(nèi)保持相位一致的優(yōu)點。
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高精度單片式不銹鋼圓光柵
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RESM圓光柵由沒有涂層的單片式300系列不銹鋼制成，這意味著它可按照需要進行專業(yè)清洗和去脂。該圓光柵具有一個大通孔和小截面，因此簡化了設(shè)計，同時還最大程度降低了質(zhì)量和轉(zhuǎn)動慣量。此外，它采用雷尼紹具有專利的錐面安裝方式，可提供一種實現(xiàn)精細調(diào)整的簡單方法，而且在很寬的溫范圍內(nèi)具有高水平的穩(wěn)定性。用于UHV應(yīng)用的RESM圓光柵供有直徑范圍從52到550 mm的尺寸，還可根據(jù)要求提供定制尺寸或更大直徑。
對于最高性能的軸，TONiC UHV還可與REXM超高精度圓光柵兼容。與讀數(shù)頭配合使用時，直徑超過100 mm的REXM圓光柵總體安裝精度優(yōu)于±1角秒。增加第二個讀數(shù)頭現(xiàn)在變得非常容易，得益于DSi雙信號接口兼顧增益通道和光學(xué)零位信號組合，因此輸出對于控制器來說相當于一個精度非常高的光柵輸入。
TONiC UHV讀數(shù)頭由精選的低出氣率材料和粘合劑在指定的潔凈條件下制造而成。該產(chǎn)品封裝在一個真空兼容袋中以維持清潔。
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殘留氣體分析 (RGA) 測試結(jié)果
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通過獨立殘留氣體分析 (RGA) 測試證明整個系統(tǒng)適用于潔凈真空條件。它還適用于超真空中使用的120攝氏度的烘焙。 典型應(yīng)用包括晶片處理、晶片檢測和科研。
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