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混氣管式PECVD系統(tǒng)

	價(jià)格：元(人民幣)	產(chǎn)地：本地
	最少起訂量：1臺	發(fā)貨地：本地至全國
	上架時(shí)間：2019-10-19 14:30:28	瀏覽量：248
	鄭州諾泰科技有限公司
	經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工	公司類型：私營有限責(zé)任公司
	所屬行業(yè)：熱處理設(shè)備	主要客戶：
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產(chǎn)品概述：

PT -T1200-S6015LK1-4Z5S多路混氣管式PECVD系統(tǒng)，由單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計(jì)、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成。 混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。

適用范圍：

設(shè)備可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層、高端裝飾等領(lǐng)域。

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