電動真空導(dǎo)入器產(chǎn)品采用高品質(zhì)的焊接波紋管，保證十萬次以上的循環(huán)使用，軸向驅(qū)動力可達(dá)到150N，在保證超高真空密封的同時，通過電機驅(qū)動，實現(xiàn)高精度的直線驅(qū)動，精確位置控制，安裝角度自由；根據(jù)客戶要求，可以制作各種驅(qū)動長度。有波紋管內(nèi)置型、波紋管外置型和中空型三種結(jié)構(gòu)，客戶根據(jù)使用要求選用。
|
主要參數(shù) |
|
|
適用范圍： |
105～5x10-7Pa |
|
真空漏率： |
≤1x10-10Pa.m3/s |
|
適用溫度： |
-30～300℃ |
|
驅(qū)動方式： |
電動 |
|
驅(qū)動方向： |
直線 |
|
安裝狀態(tài)： |
任意方向 |
|
連接方式： |
CF法蘭或客戶指定 |
|
主要零件材料 |
|
|
焊接波紋管 |
316L |
|
刻度圓柱 |
304 |
|
進(jìn)給刻度盤 |
LV12陽極化 |
