| 微控?cái)U(kuò)散爐 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1 | 發(fā)貨地：本地至全國(guó) | |
| 上架時(shí)間：2020-04-22 06:58:59 | 瀏覽量：93 | |
青島育豪微電子設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式：其他 | 公司類型： | |
| 所屬行業(yè)：其他儀器儀表分類 | 主要客戶：全國(guó) | |
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§系統(tǒng)組成：擴(kuò)散爐主機(jī)、推拉舟及凈化工作臺(tái)、氣源柜、排毒柜、微機(jī)控制柜 擴(kuò)散爐管數(shù)：1~4管 §功能特點(diǎn) §★全中文windows操作界面，可編輯參數(shù)，操作方便。 ★可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置多步。 ★工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能。 ★自動(dòng)運(yùn)行中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能。 ★工藝中可強(qiáng)制跳到下一個(gè)工藝步運(yùn)行功能。 ★智能升降溫斜率制功能。 ★pid參數(shù)自整定功能。 ★系統(tǒng)故障的檢測(cè)與報(bào)警功能。 ★智能懸臂推拉舟控制功能。 ★停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能。 ★工藝氣體的程序控制功能（電磁閥/質(zhì)量流量控制器）。 ★可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開(kāi)發(fā)相應(yīng)的功能。 §主要技術(shù)指標(biāo)： ★爐管內(nèi)徑：￠90~￠240（2英寸~6英寸） ★恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：≤1000mm±0.5（300℃~1290℃） ★控溫儀表：進(jìn)口高精度控溫儀★氣源路數(shù)：主管道1~4路★氣體種類：n2、h2、o2、hcl等 ★氣源控制：mfc或浮子流量計(jì)★推拉舟行程：大2000mm★推拉舟速度范圍及精度：（20~1000）±2mm/min★推拉舟方式：簡(jiǎn)易式、懸臂式、sic硅槳式★冷卻方式：水冷+風(fēng)冷★工控機(jī)：工控機(jī)控制 設(shè)備特性： 具有多條工藝曲線，調(diào)用方便快捷；運(yùn)行中，具有停電記憶功能觸摸微機(jī)界面，操作方便；具有超溫保護(hù)功能 
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