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隨著科技的不斷發(fā)展，現(xiàn)代超精密制造、加工、測(cè)量儀器對(duì)工作環(huán)境提出了苛刻要求，尤其是以半導(dǎo)體刻蝕為代表的超大規(guī)模集成電路制造設(shè)備，其高集成度導(dǎo)致常規(guī)散熱方法遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足要求，同時(shí)刻蝕質(zhì)量、運(yùn)動(dòng)部件的定位精度以及測(cè)量裝置的測(cè)量精度等都對(duì)環(huán)境參數(shù)的變化特別是溫度的變化尤為敏感。

半導(dǎo)體晶圓在電器組件中起到至關(guān)重要的作用，而半導(dǎo)體晶圓在生產(chǎn)制造過程中為了保證半導(dǎo)體晶圓的質(zhì)量需要對(duì)半導(dǎo)體晶圓快速降溫，但是由于降溫裝置直接將溫度降到下限值往往容易造成半導(dǎo)體晶圓皸裂。

因此，環(huán)境參數(shù)尤其是溫度的控制成為一項(xiàng)關(guān)鍵問題，而冰水機(jī)的出現(xiàn)正好解決了這一難題。

上海伯東inTEST便攜式冰水機(jī)在半導(dǎo)體刻蝕上的應(yīng)用

美國inTEST為了滿足市場(chǎng)的需求，推出了可為汽車/能源/化學(xué)加工/工業(yè)和半導(dǎo)體等行業(yè)的超低溫風(fēng)冰和水冰式冰水機(jī)的新系列。

每個(gè)過程冰卻器類型的三種型號(hào)-W-80水冰和A-80風(fēng)冰系列-為實(shí)現(xiàn)24/7溫度控制期間的可靠性而設(shè)計(jì)。

便攜式冰水機(jī)在精確的溫度下循環(huán)傳熱流體，每種型號(hào)都提供各種冰卻能力以支持特定的應(yīng)用，在-80°C時(shí)高達(dá)2.5kW。

便攜式冰水機(jī)的溫度范圍在-80℃~50℃，其溫度控制溫度性高達(dá)±0.5℃，可以精確掌控半導(dǎo)體刻蝕工藝過程中溫度，保證半導(dǎo)體刻蝕工藝中對(duì)溫度的變化尤為敏感的測(cè)量精度的準(zhǔn)確性，保證半導(dǎo)體晶圓快速降溫的同時(shí)不會(huì)由于降溫裝置直接將溫度降到下限值而造成半導(dǎo)體晶圓皸裂的問題。

上海伯東inTEST便攜式冰水機(jī)的優(yōu)勢(shì)：

1.    冰水機(jī)組配備了車載診斷程序，可幫助預(yù)測(cè)冰水機(jī)組的運(yùn)行狀況并避免意外停機(jī)

2.    通過選擇水冰凝器或風(fēng)冰冰凝器，該系統(tǒng)可輕松集成到生產(chǎn)設(shè)備中

3.    直觀的觸摸屏接口允許設(shè)置熱曲線，查看數(shù)據(jù)和趨勢(shì)以及記錄診斷信息

4.    通信接口包括（以太網(wǎng)，RS232，USB）用于遠(yuǎn)程冰卻器控制。

除了用于半導(dǎo)體刻蝕工藝外，上海伯東美國 inTEST Thermonics 超低溫流體冰水機(jī)還搭配 MCT IC 自動(dòng)測(cè)試分選機(jī) SH-5000 成功應(yīng)用于有鉛測(cè)試引線半導(dǎo)體封裝和無鉛測(cè)試引線半導(dǎo)體封裝的測(cè)試市場(chǎng).

上海伯東是美國 Thermonics 超低溫冰水機(jī)中國總代理.

美國 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低溫冰水機(jī)和 -120°C 超低溫冰水機(jī)用于冰卻工藝過程中的氣體和液體. 型號(hào)包含低溫液體冰水機(jī), 超低溫氣體冰水機(jī)和超低溫液氮, 液態(tài)二氧化碳制冰機(jī). Thermonics 低溫冰水機(jī)可選水冰或氣冰, 并與各種導(dǎo)熱液體相容. 滿足各種超低溫工藝冰卻需求, 廣泛應(yīng)用于化學(xué), 能源, 半導(dǎo)體, 汽車等領(lǐng)域.