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去離子水是指除去了呈離子形式雜質(zhì)后的純水。國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO/TC 147規(guī)定的“去離子”定義為：“去離子水完全或不完全地去除離子物質(zhì)，主要指采用離子交換樹脂處理方法。”現(xiàn)在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。應(yīng)用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機(jī)物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細(xì)菌的繁殖。
在半導(dǎo)體行業(yè)中，去離子水被稱為“超純水”或是“18兆歐水”。
從自來水到去離子水一般要經(jīng)過幾步處理 ：
1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質(zhì)
2、然后高壓通過反滲透膜
3、后一般還要經(jīng)過一步紫外殺菌以去除水中的微生物
4、假如此時電阻率還沒有達(dá)到要求的話，可以再進(jìn)行一次離子交換過程高電阻率可達(dá)到18兆。
相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電導(dǎo)率一般不如純度高的去離子水，半導(dǎo)體工業(yè)中用的大多數(shù)是高純度的去離子水

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