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  羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040是專為超純水及特殊水處理設計的不再生型終端精制混床樹脂。此樹脂的使用，使得所有種類的離子，如二氧化硅、TOC及次微米顆粒濃度等的泄漏量，進入了新低的紀元。由于為不再生型，此新種類的半導級混床樹脂不會受到再生系統(tǒng)的影響，并可在采水中發(fā)揮特性。AMBERJET UP6040并不建議用于可再生的混床系統(tǒng)中。

  一、羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040應用及特性

  在半導體廠內(nèi)的超純水處理系統(tǒng)是一龐大的，復雜的系統(tǒng)，并包含了許多不同的單元，而整個系統(tǒng)的功能及設計主要是為了得到極致的超純水。雖然沒有任何單一的單元可以確保采水水質(zhì)，但是終端精制混床是超純水在接觸到半導體芯片前的一道化學精制的處理程序，其重要性是不可忽視的。不像對化學物質(zhì)呈惰性的管路及過濾材料，離子交換樹脂是帶化學性反應的聚合物，所有的待處理水會完全的通過樹脂，因此精制混床樹脂是除去微量化學污染物質(zhì)的一道防線。除此之外，這些樹脂絕不能釋出任何物質(zhì)，進而污染到不能間斷的超純水供水系統(tǒng)。因為這些嚴格的條件，終端精制混床樹脂必須是高的品質(zhì)，且同時必須是準確的被使用的。

  二、羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040工作交換容量

  與一般的離子交換樹脂應用相比較，交換容量在超純水系統(tǒng)的終端精制混床應用上并不是主要的因素，因為精制混床的入水水質(zhì)所殘余的不純物，應該已是ppb的范圍。因此終端精制混床樹脂床的設計，是在不超過樹脂的離子交換速率范圍內(nèi)，以流量及床體接觸時間為主要的參考數(shù)據(jù)。

  三、羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040流量及壓差

  流量是非常重要的設計參數(shù)。對終端精制混床樹脂而言，體積流量不應低于30BV/h(3.8gpm/ft3)。在流量高達50BV/h(6.3gpm/ft3)的操作條件下，也是經(jīng)常所采用的設計，且證明可得到極佳的結果，在某些系統(tǒng)，所設計的流量更是略高過此數(shù)據(jù)。因此流量的設計是由具經(jīng)驗的超純水處理系統(tǒng)制造商，依系統(tǒng)的供水純度要求及工程參數(shù)之間，折衷權衡后所獲得的選擇。而AMBERJET UP6040可以滿足這些設計中，對終端精制混床樹脂的所有要求。

  四、羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040 TOC

  在AMBERJET UP6040的制造過程中，已嚴格的控制并減少從樹脂內(nèi)所釋放出的TOC總量。雖然使用了純凈的、預先混合及不易分離的超純水等級的離子交換樹脂，以得到較少的TOC泄漏量，但是由于儲存、運送、樹脂的拿取及加載桶槽等程序，仍會造成采水初期短暫的TOC泄漏釋出。在適切的儲存及正確的樹脂拿取及加載程序下，此TOC的釋放并不會持續(xù)太久的時間。大部份的情形下，AMBERJET UP6040可在6個小時的清洗時間內(nèi)，將TOC的泄漏量減少至1.0ppb以內(nèi)。

  羅門哈斯公司針對AMBERJET UP6040測試了電阻值、總有機碳值及離子交換速率的特性，保證每批次的羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040均能符合生產(chǎn)超純水所需要非常嚴苛的特性參數(shù)，并可滿足使用單位的需求。