| ***終清洗機 |
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價格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2019-05-07 08:00:15 | 瀏覽量：222 | |
南通華林科納半導體設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營模式：其他 | 公司類型：華林科納cse | |
| 所屬行業(yè)：分立半導體 | 主要客戶：全國 | |
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| 聯(lián)系人:關(guān)先生 () | 手機: |
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| 郵箱:1720920631@qq.com | 地址:江蘇南通如皋市城南街道新桃路90號 |
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是否進口否 加工定制是 類型cse 適用領(lǐng)域電子行業(yè) 用途工業(yè)用 槽數(shù)cse 型號cse 品牌cse 展開 ***終清洗機 點我去除廣告 一、設(shè)備名稱 南通華林科納cse - ***終清洗機設(shè)備 二、設(shè)備用途 清洗槽用于6/8吋兼容，集成電路制造工藝的***終清洗。配合load and oad的上下料，實現(xiàn)干進干出，每批次50枚cassette type 的高效清洗。擁有三種工藝槽，三水槽+一個干燥單元： 1個dhf清洗槽、一個of槽、一個sc-1槽、一個qdr槽、一個sc-2槽、一個qdr槽、一個干燥槽。 三、設(shè)備功能 chemical bath：自動換酸。自動洗槽，自動槽內(nèi)配比。 diw bath：pre flow and after change function。 s/d：6/8 inch 自動換位，旋干。 機械手臂：chuck open/close type，speed為可控變動； schedule：排程計算，實現(xiàn)多批次同時清洗，不發(fā)生process over time。 safety：door，temp，level，exhaust…等等interlock safety。 四、設(shè)備工藝流程 進貨區(qū)（load）→dhf（100:1）→of槽→sc-1槽→qdr槽→sc-2槽→ord槽→s/d槽→出貨區(qū)（unload） high wph type：awb200-t。雙cassette 50枚/槽。 6/8 inch 兼容cassette type 前面式機械手臂arm-1、arm-2、arm-3共三套。 機臺上部設(shè)有高效過濾器（ffu）。 五、工藝技術(shù)指標 設(shè)備應實現(xiàn)全自動作業(yè)，可自動過程控制工藝、沖水及干燥全套作業(yè)，并具備自動供液、自動洗槽、sc1-1槽帶有兆生；可編程選擇工藝槽及工藝時間進行清洗。 通過dhf/sc-1/sc-2完成***終清洗工藝，對圓片表面沾污及顆粒實現(xiàn)有效清洗。顆粒要求0.2um，0.16um作為參考，金屬1e 10。 n2過濾精度：0.01μm。 |
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