| ***終清洗機 |
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價格: 元(人民幣) | 產(chǎn)地:本地 |
| 最少起訂量:1 | 發(fā)貨地:本地至全國 | |
| 上架時間:2019-05-07 08:00:15 | 瀏覽量:222 | |
南通華林科納半導體設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營模式:其他 | 公司類型:華林科納cse | |
| 所屬行業(yè):分立半導體 | 主要客戶:全國 | |
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| 聯(lián)系人:關(guān)先生 () | 手機: |
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| 郵箱:1720920631@qq.com | 地址:江蘇南通如皋市城南街道新桃路90號 |
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是否進口否 加工定制是 類型cse 適用領(lǐng)域電子行業(yè) 用途工業(yè)用 槽數(shù)cse 型號cse 品牌cse 展開 ***終清洗機 點我去除廣告 一、設(shè)備名稱 南通華林科納cse - ***終清洗機設(shè)備 二、設(shè)備用途 清洗槽用于6/8吋兼容,集成電路制造工藝的***終清洗。配合load and oad的上下料,實現(xiàn)干進干出,每批次50枚cassette type 的高效清洗。擁有三種工藝槽,三水槽+一個干燥單元: 1個dhf清洗槽、一個of槽、一個sc-1槽、一個qdr槽、一個sc-2槽、一個qdr槽、一個干燥槽。 三、設(shè)備功能 chemical bath:自動換酸。自動洗槽,自動槽內(nèi)配比。 diw bath:pre flow and after change function。 s/d:6/8 inch 自動換位,旋干。 機械手臂:chuck open/close type,speed為可控變動; schedule:排程計算,實現(xiàn)多批次同時清洗,不發(fā)生process over time。 safety:door,temp,level,exhaust…等等interlock safety。 四、設(shè)備工藝流程 進貨區(qū)(load)→dhf(100:1)→of槽→sc-1槽→qdr槽→sc-2槽→ord槽→s/d槽→出貨區(qū)(unload) high wph type:awb200-t。雙cassette 50枚/槽。 6/8 inch 兼容cassette type 前面式機械手臂arm-1、arm-2、arm-3共三套。 機臺上部設(shè)有高效過濾器(ffu)。 五、工藝技術(shù)指標 設(shè)備應實現(xiàn)全自動作業(yè),可自動過程控制工藝、沖水及干燥全套作業(yè),并具備自動供液、自動洗槽、sc1-1槽帶有兆生;可編程選擇工藝槽及工藝時間進行清洗。 通過dhf/sc-1/sc-2完成***終清洗工藝,對圓片表面沾污及顆粒實現(xiàn)有效清洗。顆粒要求0.2um,0.16um作為參考,金屬1e 10。 n2過濾精度:0.01μm。 |
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