產品簡介
| 品牌 |
FLOWX |
產地類別 |
國產 |
| 應用領域 |
環(huán)保,電子 |
微納結構三維形貌測量儀系列微納結構三維形貌檢測儀，基于白光干涉掃描原理，以光波長作為測量基準，利用納米級高精度掃描系統(tǒng)結合具有自主知識產權的高精度解析算法，實現連續(xù)或臺階突變微納結構表面三維形貌重構，由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類外觀參數測量結果。
詳細介紹
系列微納結構三維形貌檢測儀，基于白光干涉掃描原理，以光波長作為測量基準，利用納米級高精度掃描系統(tǒng)結合具有自主知識產權的高精度解析算法，實現連續(xù)或臺階突變微納結構表面三維形貌重構，由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類外觀參數測量結果。
微納結構三維形貌測量儀本產品具有以下特點：
高的測量精度：基于干涉測量原理，測量重復性達到1nm。
大的測量范圍：采用獨特掃描系統(tǒng)，在保證納米定位精度的同時，單場掃描范圍可達到10mm，結合白光光源重構方法，可滿足曲面元件等大范圍物體測量需求。
全自動測量：標配自動檢焦功能，結合自動調焦裝置，無需復雜調節(jié)過程，一鍵操作即可完成調焦、檢測全過程。選配自動二維平臺，可自動完成大面積三維數據拼接操作
高集成度、安裝簡便：整機集成為統(tǒng)一整體，僅需外接220v電源，通過USB3.0 數據傳輸，即可完成數據傳輸與測量
具有高的性價比：保證系統(tǒng)性能的同時，降低制造成本
靈活性高：可根據用戶需求，對系統(tǒng)進行改進，滿足工業(yè)不同應用場景需求。
微納結構三維形貌測量儀技術參數： 型號 | 3DNM-W50 | 光源 | LED | CCD分辨率 | 2040×1080 | 調焦方式 | 自動 | 縱向掃描范圍 | 4mm | 縱向掃描速度 | 15μm/s | 傾斜調整范圍 | 2° | 縱向分辨率 | VSI：0.5nm，PSI：0.1nm | 橫向分辨率 | 650nm（20倍物鏡） | 臺階測量重復性 | 1nm | XY樣品臺行程 | 100mm×100mm（手動） | Z軸行程 | 50mm（自動） | 重量 | 50Kg | 外形尺寸 | 550mm×380mm×680mm | 數據傳輸接口 | USB 3.0 |
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