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化合物半導體用快速退火爐

	價格：元(人民幣)	產(chǎn)地：本地
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：本地至全國
	上架時間：2022-07-31 03:45:47	瀏覽量：141
	北京朗銘潤德光電科技有限公司
	經(jīng)營模式：其他	公司類型：[db:公司類型]
	所屬行業(yè)：	主要客戶：全國
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:史 ()	手機:01082254950
電話:	傳真:
郵箱:	地址:北京市石景山區(qū)八大處路49號點石商務(wù)公園1號樓903室

詳細介紹

產(chǎn)品簡介

品牌產(chǎn)地類別應(yīng)用領(lǐng)域

其他品牌	進口
醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源,電子

化合物半導體用快速退火爐快速熱處理設(shè)備，快速退火爐（RTP）、DLI-CVD直接注入式化學氣相沉積設(shè)備，其研發(fā)生產(chǎn)的型號AS-Master快速退火爐，可適用基片尺寸8英寸以下兼容，可升級為全自動模式。

詳情介紹

化合物半導體用快速退火爐詳情：

1、可適用基片類型：
硅和化合物半導體晶圓，GaN /藍寶石和碳化硅晶圓，多晶硅晶圓，玻璃，金屬，高分子聚合物，石墨和碳化硅托盤等等。

2、應(yīng)用：
注入退火、歐姆接觸退火(III-V and SiC)、碳化硅、快速熱氧化RTO、快速熱氮化RTN、致密和結(jié)晶、硒化、快速熱CVD（多晶硅、SiO2, SiNx）

3、產(chǎn)品特性：
多區(qū)紅外線鹵素燈退火爐配有閉環(huán)空氣冷卻
不銹鋼冷壁腔室技術(shù)
快速數(shù)字PID溫度控制器
熱電偶和高溫計控制
大氣和真空工藝性能
配有針閥的吹掃氣路
多6條工藝氣路，配有MFC
配有以太網(wǎng)通訊的PC控制，用于快速數(shù)據(jù)記錄
可選配渦旋泵和壓力控制
手動或盒到盒裝載

4、多配置選擇：
S20: 標準, 6個區(qū)域, *高到1150°C，升溫速率可達100°C/s
S20 HT: 高溫, 6 個區(qū)域, *高到1450°C，升溫速率可達200°C/s
2000: 增強均勻性, 10個區(qū)域, *高到1250°C，升溫速率可達150°C/s
2000 HT: 可在S20 HT或2000配置中運行
多溫度端口位置以滿足不同基片尺寸
可選配適用于低真空工藝的抽真空腔室
氣體面板用于CVD應(yīng)用的退火
可選配壓力控制
可選配渦輪泵
盒到盒版本

化合物半導體用快速退火爐

　北京朗銘潤德光電科技有限公司是一家在半導體微電子、高精密光學鍍膜領(lǐng)域，光伏、光熱、鋰電池等新能源領(lǐng)域以及窗膜、汽車膜、柔性電路板等行業(yè)提供專業(yè)相關(guān)工藝設(shè)備的代理公司。
　　從2006年起與德國著名微電子設(shè)備專業(yè)廠家FHR公司開始合作，并于2008年成為其中國區(qū)的代理機構(gòu)。通過我們的合作，使 FHR的產(chǎn)品逐漸進入中國，并成為國內(nèi)鍍膜設(shè)備的供貨商。
　　我們于 2010 年在北京石景山中關(guān)村高科技園區(qū)成立了專業(yè)代理國外微電子半導體及相關(guān)設(shè)備的北京朗銘潤德光電科技有限公司，并與*技術(shù)供貨商建立合作關(guān)系，為公司全面化運轉(zhuǎn)及操作奠定了良好開端。

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