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AWM42150VH 氣體流量傳感器描述

• 操作微橋質(zhì)量氣流傳感器根據(jù)傳熱理論操作。質(zhì)量氣流穿過傳感元件的表面。輸出電壓隨空氣質(zhì)量或通過包裝進(jìn)出口的其他氣體流量而成比例變化。特殊設(shè)計(jì)的外殼***地引導(dǎo)和控制通過微結(jié)構(gòu)傳感元件的氣流。微橋質(zhì)量氣流傳感器采用***微結(jié)構(gòu)技術(shù)，具有***的硅芯片。它由一個薄膜，熱隔離橋梁結(jié)構(gòu)，包含加熱器和溫度傳感元件。橋結(jié)構(gòu)對芯片上的空氣或其他氣體的流動提供了靈敏和快速的響應(yīng)。位于中央加熱元件兩側(cè)的雙傳感元件指示流向和流速。激光修整的厚膜和薄膜電阻器提供了從一個設(shè)備到另一個設(shè)備的一致互換性。，微橋質(zhì)量氣流傳感器使用沉積在氮化硅薄膜內(nèi)的溫度敏感電阻器。它們以兩座橋的形式懸掛在硅的蝕刻腔上。芯片位于***尺寸的氣流通道中，以提供可重復(fù)的氣流響應(yīng)。通過刻蝕流量傳感器橋下的空腔空間，實(shí)現(xiàn)了加熱器和傳感電阻的高效熱隔離。微橋質(zhì)量空氣流量傳感器的小型化和熱隔離使其對流量的響應(yīng)速度和靈敏度極高。雙惠斯通橋控制氣流測量——一個提供閉環(huán)加熱器控制，另一個包含雙傳感元件。加熱器電路通過提供與質(zhì)量流量成比例的輸出，將環(huán)境溫度變化引起的位移減至***小。該電路將加熱器溫度保持在高于環(huán)境空氣溫度的恒定溫差（160°C），該溫差由芯片上的熱沉電阻器感測。設(shè)備的比率電壓輸出與惠斯通電橋電路上的差分電壓相對應(yīng)。，注意可能導(dǎo)致某些應(yīng)用的灰塵污染的影響可以***小化。根據(jù)設(shè)計(jì)，氣流中可能存在的粉塵顆粒將平行于芯片表面流過芯片。此外，微結(jié)構(gòu)芯片會產(chǎn)生熱泳效應(yīng)，使微米大小的灰塵顆粒遠(yuǎn)離橋接結(jié)構(gòu)。，一個簡單的過濾器可以防止灰塵粘附在芯片邊緣和通道表面。在大多數(shù)應(yīng)用中，可通過在氣流裝置上游側(cè)串聯(lián)使用的5微米一次性過濾器實(shí)現(xiàn)充分過濾，警告產(chǎn)品損壞AWM系列微橋質(zhì)量空氣流量傳感器不是設(shè)計(jì)用于感測液體流量的，并且會被流經(jīng)傳感器的液體流量損壞。不遵守這些說明可能會導(dǎo)致產(chǎn)品損壞。

AWM42150VH 氣體流量傳感器產(chǎn)品詳細(xì)信息

• 放大流量傳感器 AWM40000 系列 AWM40000 系列質(zhì)量流量傳感器系列基于經(jīng)驗(yàn)證的微橋技術(shù)，且包括放大的信號調(diào)節(jié)設(shè)備和僅非放大的傳感器設(shè)備。
  使用非放大的設(shè)備（AWM42150VH 和 AWM42300V）時(shí)，需要符合規(guī)格的加熱器控制電路和感應(yīng)橋接電源電路以進(jìn)行操作。
  這兩種電路不含在板載傳感器上，因此必須在應(yīng)用中提供。
  差分放大器電路非常適合提供輸出增益和/或產(chǎn)生傳感器輸出電壓偏置。
  放大設(shè)備（AWM43300V 和 AWM43600V）可用于提高輸出增益和產(chǎn)生電壓偏置。
  差分儀器放大器電路、加熱器控制電路和感應(yīng)橋接電源電路均在板載放大傳感器中提供。
  特點(diǎn)和優(yōu)勢 ? 歧管安裝/O 形環(huán)密封 ? 陶瓷流量管（非脫氣性），0 至 1000 sccm ? 高共模壓力（***150 psi 陶瓷流量管） ? 工作溫度高達(dá) 125°C ? 零標(biāo)度和全標(biāo)度高穩(wěn)定性 產(chǎn)品應(yīng)用信息 ? 減震器控制用于加熱、通風(fēng)和空調(diào)系統(tǒng) ? 氣體分析儀 ? 低真空控制 ? 過程控制 ? 醫(yī)療呼吸器和通風(fēng)機(jī) ? 氧氣濃縮器 ? 泄漏檢測設(shè)備 ? 通氣罩 ? 麻醉控制 ? 氣體計(jì)量 ? 氣體色譜分析

AWM42150VH 氣體流量傳感器技術(shù)參數(shù)