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水中臭氧濃度儀固定式-滿足高純度半導體-Model470
水中臭氧濃度儀固定式-滿足高純度半導體-Model470 價格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:本地
最少起訂量:1 發(fā)貨地:廣東深圳市
上架時間:2022-06-20 13:59:17 瀏覽量:156
深圳市萬儀科技有限公司  
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所屬行業(yè):氣體分析儀 主要客戶:
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聯(lián)系人:劉生 (先生) 手機:13316594533
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郵箱:postmaster@knfsensors.com 地址:深圳市光明區(qū)華強創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)園1棟B座6樓601

詳細介紹

概述

Model470是最先進的溶解臭氧測量分析儀,為半導體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設計。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L的溶解臭氧測量。470已完成“預備清潔”,能夠滿足高純度半導體過程的需求,并且可簡單的直接拼接進任何濕法處理的環(huán)流回路中,最高支持150 SLPM的流量。

470型傳感器使用雙路取樣傳感技術,達到了無與倫比的性能,且擺脫了對參比液體測量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜。470傳感器能夠通過模擬或數(shù)字信號向濕法處理過程控制臺遠程報告測量的濃度。


技術指標
產(chǎn)品型號 Model470 生產(chǎn)廠商 美國進口
測量原理 紫外吸收法,雙路取樣傳感技術 紫外光源 低壓汞燈
測量單位 ppmw, mg/L
量  程 0-150 mg/L (150 ppmw)
精  度 0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為準)
水流量 高達150 SLPM
采樣端口 1”, 3/4”, 3/8” Flaretek® 連接
最大壓強 55 PSI
接觸材料 特氟龍®, 藍寶石, 與半導體流程相容
外殼 聚四氟乙烯特氟隆®
尺寸 垂直固定(144 x 171 x 82 mm)
電纜 特氟龍®外層
電源 +15 VDC
認證 CE 認證
模擬輸出 4-20mA或0-5VDC,出廠時選擇
數(shù)字輸出 I/O RS-232 或 RS485,出廠時選擇
遠程校零
通過DB15進行遠程零點校準
維護 紫外燈每24個月替換一次,無其他預定維護

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