| 德國MLase準(zhǔn)分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻機(jī)專用激光器 |
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德國MLase準(zhǔn)分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻機(jī)專用激光器
MLI 系列由具有直接波長的準(zhǔn)分子激光器組成,適用于工業(yè)應(yīng)用。當(dāng)然,我們可以調(diào)整我們的基本設(shè)備以滿足您的個(gè)性化需求。 MLase 的現(xiàn)代緊湊型 MLI 準(zhǔn)分子激光器是波長為 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高達(dá) 16 mJ 的高脈沖能量和高達(dá) 1,000 Hz 的脈沖重復(fù)頻率。 它們是市場上使用壽命最長、可靠性、運(yùn)營成本低的獨(dú)立設(shè)備。它們均勻的鋼型材和能量穩(wěn)定性使它們非常適合要求苛刻的應(yīng)用。 我們的LC準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)還能夠進(jìn)行主動(dòng)水冷卻(使用生活用水或外部熱交換器;無需純凈水),以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運(yùn)行。
常用型號(hào): MLI-200 MLI-500 MLI-1000 參數(shù)介紹:
德國MLase準(zhǔn)分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻機(jī)專用激光器 |
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