| 集成電路用超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程 |
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價(jià)格:39999 元(人民幣) | 產(chǎn)地:湖北武漢 |
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湖北濱潤(rùn)環(huán)?萍加邢薰
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集成電路用超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
集成電路超純水設(shè)備系統(tǒng)采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟,多級(jí)過(guò)濾、高性能離子交換單元、超濾過(guò)濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法,電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm
1、采用離子交換方式,其流程如下:
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→陽(yáng)樹脂過(guò)濾床→陰樹脂過(guò)濾床→陰陽(yáng)樹脂混床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)
2、采用兩級(jí)反滲透方式,其流程如下:
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→第一級(jí)反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級(jí)反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)
3、采用EDI方式,其流程如下: 原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→一級(jí)反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)
標(biāo)準(zhǔn)參考
顯像管、液晶顯示器用純水水質(zhì)(經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)) 集成電路用純水水質(zhì) 國(guó)家電子級(jí)純水標(biāo)準(zhǔn) 國(guó)家電子級(jí)純水標(biāo)準(zhǔn) 中國(guó)國(guó)家電子級(jí)超純水規(guī)格 GB/T 11446.1-1997
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