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QFHDS-XY系列平面式氣浮運動臺

	價格：元(人民幣)	產(chǎn)地：北京
	最少起訂量：1件	發(fā)貨地：北京順義區(qū)
	上架時間：2024-04-22 11:58:36	瀏覽量：124
	北京瑞邦精控科技有限公司
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詳細介紹

產(chǎn)品特點

氣浮導(dǎo)軌，超高性能精度

重復(fù)定位精度±15nm（SiC版）

平面式氣浮結(jié)構(gòu)，減小系統(tǒng)誤差影響

350mm行程直線度優(yōu)于1μm

高速，快速的整定時間

可選光柵或激光尺位置反饋

龍門式雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力強

優(yōu)化后的線纜管理系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

QFHDS系列平面式氣浮運動臺，采用有限元分析優(yōu)化的氣浮軸承補償設(shè)計技術(shù)，提高精度的同時，也提高動態(tài)性能，用于晶圓加工及檢測、大尺寸飛秒激光加工、測試測量等行業(yè)。

結(jié)構(gòu)特點

QFHDS系列龍門平面氣浮采用小孔節(jié)流和多孔氣浮相結(jié)合的方式，極大提高系統(tǒng)的剛度和穩(wěn)定性。平面式氣浮結(jié)構(gòu)，使XY軸運動結(jié)構(gòu)共面，反饋光柵尺在同一個水平面，相當(dāng)于單軸運動，減小因疊層引起的阿貝誤差。此結(jié)構(gòu)具有高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，開發(fā)的獨特氣浮結(jié)構(gòu)，提高了剛性和負載能力，以滿足高動態(tài)響應(yīng)的要求，可實現(xiàn)高速運動和快速的位置整定。

精度性能

采用無鐵芯直線電機驅(qū)動，交叉解耦控制算法提供雙驅(qū)軸的運動同步，氣浮導(dǎo)軌實現(xiàn)無摩擦、無振動地平滑移動，亞微米精度滿足超精密加工或測量，由于非接觸式結(jié)構(gòu)，伺服反饋的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，定位精度和重復(fù)精度得到了顯著提高。

線纜管理

使用高質(zhì)量的無塵線纜，優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，更適合在潔凈車間內(nèi)使用。

定制化

根據(jù)應(yīng)用可安裝轉(zhuǎn)臺或晶圓裝卸用的夾具。氣浮導(dǎo)軌可定制陶瓷材質(zhì)，重復(fù)定位精度±15nm�？蛇x用激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋，提升精度性能。

規(guī)格指標(biāo)

型號Model		單位Units	QFHDS-200-200		QFHDS-300-300
軸系A(chǔ)xis		—	X	Y	X	Y
行程Travel		mm	200	200	300	300
補償后定位精度 Accuracy	超精版Ultra	μm	±0.05		±0.1
	高精版Plus		±0.1		±0.15
	普通版Standard		±0.3		±0.3
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability	超精版Ultra	nm	±15		±15
	高精版Plus		±50		±50
	普通版Standard		±75		±75
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版Ultra	μm	±0.02		±0.02
	高精版Plus		±0.075		±0.075
	普通版Standard		±0.1		±0.1
直線度(1) Straightness	高精版Plus	μm	±0.25		±0.25
	普通版Standard		±0.5		±0.5
平面度(1) Flatness	高精版Plus	μm	±0.4		±0.4
	普通版Standard		±0.75		±0.75
俯仰、翻滾、偏擺(1) Pitch Roll Yaw	高精版Plus	arc sec	±0.5		±0.5
	普通版Standard		±1		±1
正交性 Orthogonality	高精版Plus	arc sec	2
	普通版Standard		5
電子分辨率Electronic Resolution(2)		nm	≤ 1, ≤5（選配）
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(3)		m/s	1
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(3)		m/s?	5,（10, 20, 30定制）
最大負載Max Load		kg	50
供氣壓力Operating Pressure(4)		MPa	0.5±0.05

型號Model		單位Units	QFHDS-350-350		QFHDS-400-400
軸系A(chǔ)xis		—	X	Y	X	Y
行程Travel		mm	350	350	400	400
補償后定位精度 Accuracy	超精版Ultra	μm	±0.1		±0.1
	高精版Plus		±0.2		±0.2
	普通版Standard		±0.4		±0.5
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability	超精版Ultra	nm	±20		±20
	高精版Plus		±50		±50
	普通版Standard		±75		±75
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版Ultra	μm	±0.025		±0.025
	高精版Plus		±0.075		±0.1
	普通版Standard		±0.1		±0.15
直線度(1) Straightness	高精版Plus	μm	±0.3		±0.4
	普通版Standard		±0.5		±0.75
平面度(1) Flatness	高精版Plus	μm	±0.5		±0.5
	普通版Standard		±0.75		±0.75
俯仰、翻滾、偏擺(1) Pitch Roll Yaw	高精版Plus	arc sec	±0.75		±1
	普通版Standard		±1.25		±1.5
正交性 Orthogonality	高精版Plus	arc sec	2
	普通版Standard		5
電子分辨率Electronic Resolution(2)		nm	≤ 1, ≤5（選配）
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(3)		m/s	1
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(3)		m/s?	5,（10, 20, 30定制）
最大負載Max Load		kg	50
供氣壓力Operating Pressure(4)		MPa	0.5±0.05

型號Model		單位Units	QFHDS-500-500		QFHDS-750-750
軸系A(chǔ)xis		—	X	Y	X	Y
行程Travel		mm	500	500	750	750
補償后定位精度 Accuracy	超精版Ultra	μm	±0.1		±0.15
	高精版Plus		±0.2		±0.3
	普通版Standard		±0.5		±0.75
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability	超精版Ultra	nm	±20		±25
	高精版Plus		±50		±75
	普通版Standard		±75		±100
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版Ultra	μm	±0.025		±0.03
	高精版Plus		±0.1		±0.1
	普通版Standard		±0.15		±0.15
直線度(1) Straightness	高精版Plus	μm	±0.4		±0.5
	普通版Standard		±0.75		±1
平面度(1) Flatness	高精版Plus	μm	±0.5		±0.75
	普通版Standard		±0.75		±1
俯仰、翻滾、偏擺(1) Pitch Roll Yaw	高精版Plus	arc sec	±1		±1.5
	普通版Standard		±1.5		±2
正交性 Orthogonality	高精版Plus	arc sec	2
	普通版Standard		5
電子分辨率Electronic Resolution(2)		nm	≤ 1, ≤5（選配）
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(3)		m/s	1
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(3)		m/s?	5,（10, 20, 30定制）
最大負載Max Load		kg	50
供氣壓力Operating Pressure(4)		MPa	0.5±0.05

型號Model		單位Units	QFHDS-1000-1000		QFHDS-1200-1200
軸系A(chǔ)xis		—	X	Y	X	Y
行程Travel		mm	1000	1000	1200	1200
補償后定位精度 Accuracy	超精版Ultra	μm	±0.25		±0.4
	高精版Plus		±0.5		±0.75
	普通版Standard		±1		±1.25
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability	超精版Ultra	nm	±50		±75
	高精版Plus		±100		±120
	普通版Standard		±120		±150
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版Ultra	μm	±0.05		±0.075
	高精版Plus		±0.15		±0.2
	普通版Standard		±0.2		±0.25
直線度(1) Straightness	高精版Plus	μm	±1		±1.25
	普通版Standard		±2		±2.5
平面度(1) Flatness	高精版Plus	μm	±1.25		±1.5
	普通版Standard		±2		±3
俯仰、翻滾、偏擺(1) Pitch Roll Yaw	高精版Plus	arc sec	±2		±2.5
	普通版Standard		±2.5		±3
正交性 Orthogonality	高精版Plus	arc sec	2
	普通版Standard		5
電子分辨率Electronic Resolution(2)		nm	≤ 1, ≤5（選配）
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(3)		m/s	1
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(3)		m/s?	5,（10, 20, 30定制）
最大負載Max Load		kg	50
供氣壓力Operating Pressure(4)		MPa	0.5±0.05

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃（重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。

1. 取決于平臺安裝表面的平面度；

2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)；

3. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負載大��；

4. 為保護氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。

5. 無特殊項目要求，出廠默認為準(zhǔn)。

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