| AD12英寸噴淋顯影系統(tǒng)德國SUSS MicroTec |
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價格:1000 元(人民幣) | 產地:本地 |
| 最少起訂量:1臺 | 發(fā)貨地:深圳 | |
| 上架時間:2025-01-03 10:03:26 | 瀏覽量:30 | |
深圳市現(xiàn)代豪方儀器儀表科技有限公司
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| 經營模式:代理商 | 公司類型:私營有限責任公司 | |
| 所屬行業(yè):傳感器、敏感元器件 | 主要客戶:電子廠,機械廠,電廠,化工廠,礦場,冶金廠等 | |
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代理德國蘇斯微SUSS MicroTec噴墨打印機、涂膠機與顯影機、光刻機、貼片機、俺膜機 詳詢請致電:吳工 132,4667.5433 ![]() AD12英寸噴淋顯影系統(tǒng) AD12系統(tǒng)可以滿足所有最新的噴淋顯影技術的需求,最大可用于直徑12英寸的圓片和9英寸×9英寸的方形基片和掩模。 也可以選裝晶圓清洗模塊。 亮點: 憑借多樣的噴液技術,在工藝通用性方面表現(xiàn)出色 專為水基工藝而設計 高安全性標準 介紹: 一、卓越的靈活性 AD12通過使用優(yōu)化的卡盤能夠處理許多不同種類的基材,從而展示了其多功能性。即使是脆弱的基材(如InP、GaAs)也能被安全地處理。特殊的工具和廣泛的易于調整的工藝參數(shù)使AD12適用于許多涉及水介質的工藝應用。由于能夠對參數(shù)進行編程,如步進時間、旋轉速度、加速和減速、點膠臂位置和旋轉運動,該系統(tǒng)可以優(yōu)化工藝流程,從而獲得可重復的、穩(wěn)定的工藝結果。AD12配備了SUSS MicroTec公司先進的點膠技術,有效地支持開發(fā)和清洗。 二、復雜的噴點技術 AD12為不同的工藝需求提供了廣泛的噴點技術。可以運行多種工藝:從簡單的水坑或噴霧顯影,到需要浸泡和最后沖洗的水坑點膠,再到需要高壓將抗蝕劑和金屬升起的升華。上述所有的噴點技術都可以在AD12的噴點臂上配置。 三、智能溶劑型介質系統(tǒng) AD12是為處理水基介質的特殊需求而定制的。所有與工藝化學品接觸的部件都由不易受影響的材料制成。排水口可以連接到室內排水口或廢物罐。 介質被安全地儲存在配備有排氣接口的介質庫中,并由滲漏檢測器加以保護。流量控制系統(tǒng)和壓力調節(jié)器管理介質。可以選擇控制介質溫度,以確保工藝效果。可以安裝介質的再循環(huán)系統(tǒng),以減少整個介質的消耗。 四、操作簡單、安全
德國SUSS MicroTec主要產品:
韓國AUTOFLOW: |
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