天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經銷德國ATL Lasertechnik準分子激光器ATLEX-500-I
產品型號：ATLEX-500-I
關鍵字：ATL Lasertechnik準分子激光器ATLEX-500-I
關鍵字描述：ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比應用而設計。
產品介紹：
軟電暈預電離
高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器
激光頭體積<3l
TMC（全金屬陶瓷）容器
集成真空泵和鹵素過濾器
風冷/可選液冷，主動熱管理
RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tǒng)集成
可沖洗光學支架
能量穩(wěn)定模式
新一代緊湊型風冷，高重復頻率的準分子激光器，專為中低占空比應用而設計。
參數：
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氣體介質
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F2
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ArF
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KrF
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XeCl
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XeF
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波長 nm
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157
|
193
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248
|
308
|
351
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高壓開關技術
|
固態(tài)開關
|
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重復率max. Hz
|
1
|
10
|
15
|
8
|
7
|
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脈沖能量max.
mJ
|
0.5
|
4.0
|
6.5
|
3.0
|
2.5
|
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平均功率max. W
|
500
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脈沖持續(xù)時間 ns
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5-8
|
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光束尺寸（V x H） mm
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4 x 6
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光束發(fā)散角（V x H）mrad
|
1 x 2
|
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能量穩(wěn)定性（標準偏差）%
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< 3
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尺寸（長x寬x高）mm
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540 x 470 x 370
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重量 kg
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60
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冷卻
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冷卻空氣/可選液體
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電源要求
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230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz
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